Gates精密控制的真空阀门主要组成部件和优点

　　抽气速率是真空获得设备的重要指标。一直以来，权威机构的测量一直以手动阀门操作为基本操作方式，十分耗时而且需要经验。有些阀门在测试过程中难于始终保证开度的稳定性，不同的测试者其测试结果可能也不尽相同。特别的，在小流量测试中，由于存在“大数吃小数”效应，对读数精确度要求很高，所以有必要提供一种自动测试抽速的解决方案；这种解决方案不能仅仅停留在实验室阶段，需要面向工程，适应各种规格的泵种。另外，一般在抽速测试时大多采用空气进行测试，为更好地模拟现场工况，应可进行混合多种工艺气体的工况下的抽速测试，这是传统抽速测试装置难于做到的。进一步地，这种解决方案可以推广到实际的IC装备中，实现真空系统抽气速率的精确调节。为了克服现有抽速测试工作时间长、依赖操作者经验等难题，Gates提供一种可精密控制的真空阀门。

   Gates精密控制的真空阀门包括直线步进电机、上阀盖、阀体、伸缩丝杆、阀座、下阀盖及趋近式传感器，其中阀体的上下两端分别安装有上阀盖及下阀盖，所述阀座位于该阀体内；所述直线步进电机安装在上阀盖上，输出端通过伸缩丝杆与所述阀座相连，所述阀座的下方设有安装在下阀盖上、测量阀门开度的趋近式传感器，所述直线步进电机驱动阀座上下移动，进而实现阀门开度的闭环控制。其中：Gates精密控制的真空阀门趋近式传感器垂直布置于阀座的正下方，并与所述下阀盖密封连接；所述趋近式传感器为电涡流传感器，通过传感器密封胶圈与下阀盖密封连接；所述直线步进电机与上阀盖之间、上阀盖与阀体之间、阀座与阀体内壁之间以及下阀盖与阀体之间均通过密封胶圈密封连接。

Gates精密控制的真空阀门的与积极效果为：

1.Gates精密控制的真空阀门采用直线步进电机带动阀座上下开合，并通过趋近式传感器测量阀座的开度，使得测量、控制精确，在气流脉动冲击下，能够稳定开度不变化，进而使流量始终稳定在某一数值上。

2.结构紧凑，体积小，直线步进电机噪音小、步长均匀、可控。

3.趋近式传感器垂直布置在阀座下方，与外界连接的部位布置有传感器密封胶圈，对趋近式传感器有保护作用。

    Gates精密控制的真空阀门的立体结构示意图；其中：1为直线步进电机，2为电机密封胶圈，3为紧固螺钉，4为阀体，5为伸缩丝杆，6为阀座密封胶圈，7为阀座，8为阀盖密封胶圈，9为阀体密封胶圈，10为下阀盖，11为电涡流传感器，12为传感器密封胶圈，13为上阀盖。

　　具体实施方式:如图1～3所示，FISHER费希精密控制的真空阀门包括直线步进电机1、上阀盖13、阀体4、伸缩丝杆5、阀座7、下阀盖10及趋近式传感器，其中阀体4为不锈钢材质，公称通径可为15、25、40、50等多种规格；在阀体4的上下两端均布置有阀体密封胶圈9，上阀盖13及下阀盖10分别通过紧固螺钉3固接在阀体4的上下两端，并通过阀盖密封胶圈8及阀体密封胶圈9与阀体4密封。直线步进电机1作为执行器，固定在上阀盖13的上方，止口处采用小过盈配合，通过电机密封胶圈2与上阀盖13密封。阀座7位于阀体4内，上下两端均通过阀座密封胶圈6与阀体4内壁密封。阀座7通过伸缩丝杆5与直线步进电机1的输出端相连接，可随直线步进电机1实现上下开合，控制阀门的开度。阀座7为不锈钢材质，公称直径可为15、25、40、50等多种规格。阀座7的下方设有安装在下阀盖10上、测量阀门开度的趋近式传感器。本发明的趋近式传感器可为电涡流传感器11，垂直布置于阀座7的正下方，用于测量阀座7的开度，最小距离可为2mm；电涡流传感器11与外界相连接的部位布置有传感器密封胶圈12，通过该传感器密封胶圈12与下阀盖10密封连接。Gates精密控制的真空阀门的电机密封胶圈2、阀座密封胶圈6、阀盖密封胶圈8、阀体密封胶圈9及传感器密封胶圈12均为特氟龙类。

　　Gates发明的工作原理为：直线步进电机1由控制器控制工作，通过伸缩丝杆5带动阀座7上下开合，可以实现阀门开度的闭环控制。同时，通过电涡流传感器11测量阀座7的开度，实现对阀门开度的准确测量。FISHER费希精密控制的真空阀门主要用于抽速的精确测量，也可广泛应用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。